三氟化氮
Nitrogen Trifluoride 三氟化氮（NF3）
Total Purity 纯度≥99.999%
气相杂质Vapor Phase Impurities
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Contaminants杂质 |
Specifications（ppm）规格 |
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O2+Ar |
Oxygen+Argon氧氩 |
＜1.0 |
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CO2 |
Carbon Dioxide二氧化碳 |
＜1.0 |
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CO |
Carbon Monoxide一氧化碳 |
＜1.0 |
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H2O |
Moisture水 |
＜1.0 |
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N2 |
Nitrogen氮气 |
＜1.0 |
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N2O |
Nitrous Oxide一氧化二氮 |
＜1.0 |
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HF |
hydrogen fluoride氟化氢 |
＜1.0 |
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CF4 |
Halocarbon-14 四氟化碳 |
＜10.0 |
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SF6 |
Sulfur Hexafluoride六氟化硫 |
＜1.0 |
包装规格Standard Package Information
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Cylinder Type气瓶规格 |
47L |
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Fill Weight充装量 |
22.7kg |
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Valve Connection阀门 |
CGA-330、DISS640 |
