锗烷
Germane 锗烷（GeH4）
Total Purity 纯度≥99.999%
气相杂质Vapor Phase Impurities
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Contaminants杂质 |
Specifications（ppm）规格 |
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O2+Ar |
Oxygen+Argon氧氩 |
＜1.0 |
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CO2 |
Carbon Dioxide二氧化碳 |
＜2.0 |
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CO |
Carbon Monoxide一氧化碳 |
＜1.0 |
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N2 |
Nitrogen氮气 |
＜5.0 |
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Digemane乙锗烷 |
＜20 |
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Trigemane三锗烷 |
＜1.0 |
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THC |
Total Hydrocarbon碳氢化合物 |
＜1.0 |
包装规格Standard Package Information
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Cylinder Type气瓶规格 |
44L |
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Fill Weight充装量 |
150psig |
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Valve Connection阀门 |
CGA-350 |
